產(chǎn)品名稱(chēng)：超高純壓力傳感器

應(yīng)用行業(yè)：

• 半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板制造設(shè)備
• 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測(cè)星

應(yīng)用流體：

• l 超高純及有毒等特種電子氣體

特點(diǎn)：

• l 可測(cè)真空壓力，量程范圍：0-7MPa
• l 測(cè)量精度可達(dá)±0.25% FS BSL；
• l 工作溫度范圍：-40~8（FC；
• l 硅壓阻敏感元件，高穩(wěn)定性，高可靠性；
• l 全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
• l 壓力接頭脫脂清洗，產(chǎn)品真空包裝；
• l 快速響應(yīng)時(shí)間，上電時(shí)間小于30ms;
• l 所有接液部分表面電拋光處理，符合EP Grade5；
• l 所有接液部分表面粗糙度不超過(guò)Ra 0.2；

性能指標(biāo)

量程	0-7MPa表壓之間任意選擇 0-7MPa顚之間任誕擇
*大過(guò)壓	4xFS (2OMpa Max)
封堵壓力	6xFS (2OMpa Max)
精度等級(jí)	±0.25%FS BSL （BSL*佳擬合直線(xiàn)）
溫度影響	±15%FSTHB （TEB:溫度誤差帶）
材質(zhì)	316L不銹鋼
供電電壓	7~32Vdc
輸出形式	4~20mA;V
工作溫度范圍	-40 ~ +80 C
木卜償溫度范圍	-20 ~ +80C
頻率響應(yīng)	3.5KHZ
上電時(shí)間	<30ms
絕緣電阻	>100MQ@500VDC
長(zhǎng)期穩(wěn)定性	±0.1%FS 每年
壓力介質(zhì)	與316L不銹鋼兼容的流體
零點(diǎn)允許誤差	±1.0%FS
滿(mǎn)量程允許誤差	±1.0%FS

電氣接口性能

編號(hào)	描述	*大工作溫度范圍℃	IP等級(jí)	零、滿(mǎn)調(diào)整
7	DIN43650.可拆卸	-40~+80	65	是
G	M12*l四針	-40~+80	65	否

電氣連接